该方向针对智能制造领域中的智能器件、核心器件设计及制备工艺中的关键技术,开展基于二维材料及III-V半导体材料的新型微纳电子器件、电磁器件、微纳光机电器件、柔性电子器件、半导体功率器件的建模、设计、性能表征与制备工艺的研究。